只有一种元素组成的多数都是单质，臭氧的化学式O3，只含一种元素且由同一种分子构成，所以臭氧是单质。臭氧是氧气的一种同素异形体。有鱼腥气味的淡蓝色气体。

臭氧又称为超氧，是氧气的同素异形体，在常温下，它是一种有特殊臭味的淡蓝色气体。臭氧主要分布在10~50km高度的平流层大气中，极大值在20~30km高度之间。在常温常压下，稳定性较差，可自行分解为氧气。