现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需要众多相关学科的支持；在现代工业制造技术和科学研究中，测量仪器具有精密化、集成化、智能化的发展趋势；三坐标测量机（CMM）是适应上述发展趋势的典型代表，它几乎可以对生产中的所有三维复杂零件尺寸、形状和相互位置进行高准确度测量；发展高速坐标测量机是现代工业生产的要求；同时，作为下世纪的重点发展目标，各国在微/纳米测量技术领域开展了广泛的应用研究。